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超硬材料磨料磨具研发中心研发团队

    团队带头人:栗正新

    团队名称:高端超硬材料磨料磨具团队

    核心成员:肖长江、任瑛、何伟春、杨雪峰、段磊

    团队介绍:团队聚焦SiC晶圆切割、磨削、抛光金刚石工具及工艺的研究与开发,构建可控加工模型体系、提升碳化硅晶圆的切割效率和质量、实现碳化硅晶圆减薄磨削加工精度的提升,为碳化硅晶圆大型化生产及产业化、高端化运行提供技术支撑。