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热丝化学气相沉积设备
用于硼掺杂金刚石薄膜制备、金刚石涂层刀具制备。金刚石涂层厚度可达20μm以上，金刚石涂层中金刚石成分含量大于90%。
保护气体和冷却水路系统，甲烷流量、温度、压力控制系统，实现自动检测和编程控制。
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